Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
Е.Берлин, С.Двинин, Л.Сейдман.
В книге обобщено современное состояние вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок.
Year:
2007
Publisher:
Техносфера
Language:
russian
Pages:
93
ISBN 10:
5948361349
ISBN 13:
9785948361345
Series:
Мир материалов и технологий
File:
DJVU, 1.44 MB
IPFS:
,
russian, 2007